반도체 공정 온실가스, 촉매 기술로 해결하다

희성촉매 PFC 분해 촉매 개발 스토리 인공지능(AI) 기술 발전과 데이터 수요 폭증으로 반도체 산업은 빠른 성장을 이어가고 있습니다. 하지만 이런 성장 이면에는 간과할 수 없는 과제가 존재합니다. 반도체 생산 과정 중 에칭 공정 등에서는 과불화탄소(PFCs)와 같은 고온난화지수의 불화계 가스가 발생하는데, 이는 이산화탄소 대비 수천 배 높은 지구온난화지수(GWP)를 지닌 물질로 기후위기 대응의 핵심 이슈입니다. 이러한 환경 … 반도체 공정 온실가스, 촉매 기술로 해결하다 계속 읽기